微流控PDMS芯片一般采用等離子體處理的方法去獲取。選用等離子清洗機(jī)來鍵合微流控PDMS芯片，不同類型的工藝參數(shù)會(huì)直接影響到PDMS芯片的鍵合硬度。良好的鍵合牢固的芯片的耐壓強(qiáng)度可以達(dá)到3-5bars的耐壓值。

一、玻璃/PDMS等離子體鍵合

為了能夠永久性的把PDMS芯片結(jié)合到玻璃片上，科研人員應(yīng)用等離子清洗機(jī)來改變玻璃和PDMS的表面性質(zhì)。等離子清洗機(jī)處理將會(huì)改變玻璃和PDMS芯片表面的化學(xué)性質(zhì)并允許把帶有微通道的PDMS粘接到其他基底上如(PDMS或玻增)。如果等離子體鍵合步驟出錯(cuò)，芯廣將會(huì)漏液并且將無法正常應(yīng)用。在等離子清洗機(jī)選擇和使用上，需要留意幾個(gè)重要的地方。

二、等離子清洗機(jī)氣體的挑選

表面態(tài)取決于所使用的氣體。腔室內(nèi)大氣等離子體在大多數(shù)情況下都能夠滿足實(shí)驗(yàn)要求。有些科研人員喜歡應(yīng)用純O2來控制腔室內(nèi)總的氣體組分，但是需要更多的設(shè)備及加工過程更加嚴(yán)格。

蘇州汶顥手持式等離子清洗機(jī)具有體積小巧，使用方便的有點(diǎn)。其通過等離子發(fā)生器產(chǎn)生高壓高頻能量在噴嘴鋼管中被激活和被控制的輝光放電中產(chǎn)生了低溫等離子體，借助壓縮空氣將等離子體噴向工件表面，大大增加了工件表面的附著力、相容性、浸潤(rùn)性、擴(kuò)散性等。多用于微流控芯片鍵合、電子行業(yè)的手機(jī)殼印刷、涂覆、點(diǎn)膠等前處理，手機(jī)屏幕的表面處理;國(guó)防工業(yè)的航空航天電連接器表面清洗;通用行業(yè)的絲網(wǎng)印刷、轉(zhuǎn)移印刷前處理等。

三、等離子清洗機(jī)-灰塵

表面上灰塵的具有會(huì)阻止玻璃-PDMS的等離子體鍵合。另外，磁盤上灰塵的位置和大小還會(huì)影響PDMS的硬度。初次清洗，最少要1個(gè)清潔干燥的空氣噴射來沖洗磁盤或硅片。當(dāng)然，也有其它的方法去移除灰塵，您可以使用3M透明膠帶來移除表面的顆?；蚋鼮橛行У氖悄€可以把芯片放置在異丙醇溶液(IPA)內(nèi)并且使用超聲波來分離表面和PDMS孔洞內(nèi)部的不需要的顆粒，為了能夠清洗干凈玻璃，能夠先后反復(fù)使用丙酮、異丙醇、水來進(jìn)行清洗之后再進(jìn)行干燥處理。

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