- PDMS濕法刻蝕與軟刻蝕的區(qū)別器和柔性電子等領(lǐng)域。在這些應(yīng)用中,刻蝕工藝是實(shí)現(xiàn)微結(jié)構(gòu)加工的關(guān)鍵步驟。濕法刻蝕和軟刻蝕是兩種常用的刻蝕方法,它們?cè)谠怼⒐に嚭蛻?yīng)用場(chǎng)景上有所不同。濕...2024-09-20 09:42:54
- 濕法刻蝕工藝蝕(如離子束刻蝕)和化學(xué)氣相刻蝕(如等離子體刻蝕)等。與干法蝕刻相比,濕法刻蝕使用液體刻蝕介質(zhì),通常是一種具有化學(xué)反應(yīng)性的溶液或酸堿混合液,是一種將...2024-07-31 09:09:43
- 刻蝕工藝:干法刻蝕和濕法刻蝕特殊區(qū)域,而未被光刻膠保護(hù)的區(qū)域,則被選擇性的刻蝕掉。 1.干法刻蝕和濕法刻蝕 ?在半導(dǎo)體制造中有兩種基本的刻蝕工藝:干法刻蝕和濕法腐蝕。干法刻蝕是...2017-08-23 16:26:42
- MEMS濕法刻蝕和干法刻蝕的比較濕法腐蝕是使用液態(tài)腐蝕劑系統(tǒng)化的有目的性的移除材料,在光刻掩膜涂覆后(一個(gè)曝光和顯影過的光刻膠)或者一個(gè)硬掩膜(一個(gè)光刻過的抗腐蝕材料)后緊接該步腐蝕...2016-12-13 10:05:25
- PDMS/PMMA/GLASS實(shí)驗(yàn)室樣本處理區(qū)塊——提供玻璃切割,清洗,激光打孔等功能。樣品加工區(qū)塊——以濕法刻蝕為主,能夠依據(jù)需要,加工各種尺寸的玻璃芯片。芯片表征區(qū)塊——以掃描電鏡...2025-05-11 13:24:15
- 技術(shù)培訓(xùn)控技術(shù)的培訓(xùn),主要內(nèi)容如下:??實(shí)驗(yàn)室組建相關(guān)培訓(xùn)??光刻工藝培訓(xùn)??濕法刻蝕培訓(xùn)??數(shù)控機(jī)床工藝培訓(xùn)??軟注塑工藝培訓(xùn)??芯片封合相關(guān)技術(shù)培訓(xùn)??...2025-05-11 13:24:15
- 微流控芯片實(shí)驗(yàn)室整體組建培訓(xùn),主要內(nèi)容如下:????????實(shí)驗(yàn)室組建相關(guān)培訓(xùn)、光刻工藝培訓(xùn)、濕法刻蝕工藝培訓(xùn)、軟注塑工藝培訓(xùn)、機(jī)加工工藝培訓(xùn)、芯片封合相關(guān)技術(shù)培訓(xùn)。???...2025-05-11 13:24:15
- 光刻加工12寸晶圓,旋涂均勻性好,粘附性高,成品質(zhì)量好??涛g工藝刻蝕工藝主要有濕法刻蝕和干法刻蝕。濕法刻蝕是一種純化學(xué)刻蝕,利用液體化學(xué)試劑與待刻蝕材料反應(yīng)...2025-05-11 13:24:15
- 微流控分析芯片S:加工線寬在0.2微米以上,深寬比最大可到5:1;玻璃/石英/硅片:濕法刻蝕,線寬在0.5微米以上;電極結(jié)構(gòu)(金、鉑金、鋁和其他合金):線寬在5微...2018-11-16 15:58:38
- 汶顥微流控芯片加工工藝介紹芯片,管道加工誤差可以在10μm以內(nèi),切割誤差可以控制在20μm以內(nèi)。濕法刻蝕寬深比>2:1,通道內(nèi)壁光滑。五、磁控濺射工藝可以在硅片或者玻璃上濺射...2016-10-11 10:30:26