化學(xué)品商品名：SU-8 Developer

生產(chǎn)廠家：Kayaku Advanced Materrials, Inc.(formerly MicroChem)

主要成分：

1-Methoxy-2-propyl acetate (CAS: 108-65-6), > 99.5%丙二醇甲醚醋酸酯 （醋 cu）

2-methoxy-1-propyl acetate < 0.5% 2-甲基丙醇乙酸酯 < 0.5%

顯影原理：

SU-8膠的顯影原理是在顯影液中溶解掉未曝光部分的光刻膠。當(dāng)基片放人顯影液中，未曝光部分的光刻膠會被顯影液溶解。而曝光過的光刻膠已交聯(lián)形成網(wǎng)狀聚合物，因此顯影液對它基本沒有溶解作用，形成與掩模版相反的微結(jié)構(gòu)圖形。

實(shí)驗(yàn)室用戶使用建議：

顯影操作請?jiān)谕L(fēng)櫥內(nèi)進(jìn)行。假如用戶給4英寸的硅片顯影，可以在6英寸的玻璃培養(yǎng)皿中倒入適量顯影液，顯影液浸沒硅片即可，可以用拔掉針頭的針筒吸取培養(yǎng)皿中的顯影液并慢慢推注射器使培養(yǎng)皿中的顯影液流動，加塊顯影。觀察硅片表面，可以看到硅片底面反光說明顯影結(jié)束。取出顯影后的硅片，在黃光下觀察，若是有彩色的反光，可以用新的針筒（去掉針頭）抽取新的顯影液，輕輕噴在硅片表面進(jìn)行沖洗。然后用去離子水沖洗干凈，氮?dú)獯蹈伞?/span>

若用戶有顯影機(jī)，可以按照顯影機(jī)說明書進(jìn)行操作。

Ingredient:

Synonyms

    Organic solvent solution

    Propylene glycol monomethyl ether acetate

Physical Data 

Hazardous Decomposition

    Carbon Monoxide

     Carbon Dioxide

Incompatibles 

Oxidizing Agents

Strong Acids

Strong Alkali

Protective Equipment