• 微流控光刻技術的微粒子研究現(xiàn)狀及應用進展摘要近年來，微粒因其獨特的形狀、復雜的結(jié)構(gòu)以及將各種功能整合到單個實體中的能力而引起了廣泛的關注。它們已被證明在生物分析和診斷、組織工程、防偽、機械工...2023-11-02 11:23:23
• PDMS在生物研究中的應用--生物研究領域PDMS光刻技術綜述PDMS在生物學研究中的應用PDMS在生物學研究中，更確切地說，PDMS的生物相容性是當今生物學研究許多領域中的一個重要參數(shù)，因為微流體和微流控芯片是...2022-12-08 11:10:50
• 光刻技術種類及光刻膠的分類溶解就可以清除，從而增加了模板的使用壽命，降低了生產(chǎn)成本。 3 ?紫外光刻技術及相應的光刻膠 紫外光刻技術作為復制微型圖形的一種圖形轉(zhuǎn)移技術，是制備...2021-12-30 15:50:44
• 光刻技術圖形轉(zhuǎn)移工藝三：芯片刻蝕光刻和刻蝕是兩個不同的加工工藝，但因為這兩個工藝只有連續(xù)進行，才能完成真正意義上的圖形轉(zhuǎn)移，而且在工藝線上，這兩個工藝經(jīng)常是放在同一工序，因此，有時也...2018-06-07 08:49:02
• 光刻技術圖形轉(zhuǎn)移工藝二：光刻材料及設備1.光刻膠正膠負膠光刻膠也稱為光致抗蝕劑，是一種光敏材料，它受到光照后特性會發(fā)生改變。光刻膠主要用來將光刻掩膜版上的圖形轉(zhuǎn)移到晶圓片上。????光刻膠...2018-06-07 08:41:19
• 光刻技術圖形轉(zhuǎn)移工藝一：照相技術的啟發(fā)不管是氧化、淀積還是擴散、離子注入，這些單項工藝本身對硅晶圓片各個不同的位置沒有任何選擇性，它們都是對整個硅晶圓片進行處理，不涉及任何圖形。集成電路是...2018-06-01 11:17:53
• 軟光刻技術：SU-8涂層機等）、烘膠臺、SU-8系列光刻膠及顯影液產(chǎn)品和相關技術輸出服務。在軟光刻技術中，通常用SU-8模具復制PDMS微流體結(jié)構(gòu)芯片。為了制造這種SU-8...2018-03-16 09:26:49
• 光刻技術的基本原理上的圖形轉(zhuǎn)移光刻膠上的過程將器件或電路結(jié)構(gòu)臨時“復制”到硅片上的過程。光刻技術的基本原理：?1、涂膠目前涂膠的主要方法有：甩膠、噴膠和氣相沉積 ，但...2016-10-10 10:13:26
• 光刻技術? ? ? 光刻技術是指在光照作用下，借助光致抗蝕劑（又稱光刻膠）將掩膜版上的圖形轉(zhuǎn)移到基片上的技術。其主要過程為：首先紫外光通過掩膜版照射到附有一層光刻膠薄膜...2016-04-05 11:54:05
• SU-8光刻膠模具用到模具，尤其是在PDMS芯片加工的過程中。PDMS芯片加工通常采用軟光刻技術來制作。為了執(zhí)行PDMS軟光刻技術的加工過程，通常需要用到模板，最常規(guī)...2025-05-13 12:00:28