微閥結(jié)構(gòu)及工作原理主要由2層PDMS片組成：上層PDMS片和下層PDMS片。上層PDMS片不包含微結(jié)構(gòu)，主要用作蓋片，與下層PDMS片封合后，形成具有密閉通道的微閥器件。下層PDMS片為微閥的功能層，集成了閥片、閥塞、微通道等微結(jié)構(gòu)。其中閥片一端垂直固定于流體通道(400 m寬、200 m高)的內(nèi)壁；而閥塞位于閥片的左側(cè)，兩端則都被固定于微通道的側(cè)壁上，中間則由一正對(duì)于閥片中央的閥塞通道(寬度80 p．m、長(zhǎng)度500 Ixm)隔開(kāi)。微閥閥片與閥塞之間留有微小的間隙通道，主要用于調(diào)節(jié)流量。在受到不同方向的流體壓力作用時(shí)，閥片發(fā)生變形，通道內(nèi)的流阻產(chǎn)生變化，改變了流量，而實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的調(diào)節(jié)。具體工作過(guò)程如下：當(dāng)微閥受到正向流體壓力作用時(shí)(從左至右)，閥片偏離閥塞，閥片與閥塞之間的間隙距離增大，流阻變小，流量增大，微閥正向?qū)?；而?dāng)閥片受到反向流體壓力作用時(shí)(從右至左)，閥片偏向閥塞，并逐漸與閥塞接觸，閥片與閥塞之間的間隙距離顯著減小，流阻不斷增大，相比于正向流量，反向流量顯著降低，微閥反向截止。因此通過(guò)柔性閥片的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，微閥實(shí)現(xiàn)了流量調(diào)節(jié)功能。