微流控芯片加工方法:基于蠟打印技術(shù)的紙基微流控芯片加工技術(shù)

采用紙作為微流控芯片的基底材料，采用物理和化學(xué)的方法，在紙表面上形成需要的親/疏水壁壘，壁壘的外形圍成了簡易的微流道。在實(shí)驗(yàn)中，溶液通過毛細(xì)現(xiàn)象在紙基微流控芯片中行進(jìn)和發(fā)生反應(yīng)。其特點(diǎn)是原料和加工成本低廉、適合于一次性生物/化學(xué)檢測使用。最小尺寸為50-100?m。

噴蠟技術(shù)制成的紙基微流控芯片

噴涂在透明聚合物材料上的蠟層（充當(dāng)紫外曝光制作微流控芯片的掩膜板）

其他微流控芯片加工方法：

微納熱壓印技術(shù)。通過在硅片表面用離子刻蝕的方法加工出流道圖案，再將圖案使用熱壓印技術(shù)轉(zhuǎn)印在聚合物材料表面完成微流控芯片加工。其特點(diǎn)是加工速度較快，精度高，材料適應(yīng)性廣，但加工成本較為高昂。