• Nikon光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)機(jī)制和標(biāo)記系統(tǒng)研究在上表中給出標(biāo)記圖案幾何中心的坐標(biāo)值。關(guān)于各對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的圖形，可參考Nikon光刻機(jī)用戶說(shuō)明書(shū)中的相關(guān)部分。我們實(shí)際所設(shè)計(jì)的掩模版是I線和G線光刻機(jī)都...2018-01-31 09:33:17