• 中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所研制出實(shí)用深紫外光刻機(jī)學(xué)院光電技術(shù)研究所微電子專用設(shè)備研發(fā)團(tuán)隊(duì)研制成功波長(zhǎng)254nm的實(shí)用深紫外光刻機(jī)（Mask aligner），光刻分辨力達(dá)到500nm。　　光刻機(jī)因使...2017-07-28 16:03:16
• 紫外光刻機(jī)的工作條件 ?????? 紫外線光刻機(jī)是 印制板制造工藝中的重要設(shè)備。傳統(tǒng)光刻機(jī)的玻璃-邁拉曬架在生產(chǎn)過(guò)程中需要人工趕氣,邁拉膜需要經(jīng)常更換。由于冷卻系統(tǒng)過(guò)...2015-01-30 16:02:14
• 掩膜板的制造和管理Electro Mechanical Systems，微機(jī)電系統(tǒng)）等。紫外光刻機(jī)、步進(jìn)式光刻機(jī)等光刻設(shè)備上都需要使用掩膜版。掩膜板的掩蔽層一般為鉻（C...2024-08-01 10:02:30
• 基于流動(dòng)聚焦微流控芯片的液晶微滴制備及傳感響應(yīng)分析了微滴尺寸對(duì)檢測(cè)性能的影響。實(shí)驗(yàn)儀器與試劑URE-2000 / 25 紫外光刻機(jī)；微注射泵；數(shù)顯鼓風(fēng)干燥箱；等離子清洗儀；真空干燥箱；水浴鍋；電子天平...2023-12-29 11:00:24
• 基于液滴微流體的微流控芯片系統(tǒng)的研究s 壓力泵、硅片、SU-82025光膠、等離子清洗機(jī)、勻膠機(jī)、加熱臺(tái)、紫外光刻機(jī)、微流控芯片、PDMS實(shí)驗(yàn)過(guò)程：液滴微流控芯片整合控制系統(tǒng)的搭建?激光...2023-11-14 10:18:22
• 處于中國(guó)軍民擔(dān)憂中的芯片制造機(jī)器。這種帶有數(shù)十億或數(shù)萬(wàn)億個(gè)晶體管的晶片最終會(huì)被制成計(jì)算機(jī)芯片。國(guó)產(chǎn)雙面紫外光刻機(jī)一臺(tái)EUV機(jī)器由超過(guò)10萬(wàn)個(gè)部件組成，成本約為1.2億美元，裝在40個(gè)...2022-12-01 10:59:39
• 一文看懂光刻機(jī)刻機(jī)使用的則是波長(zhǎng) 13.5nm 的極紫外光。?早在上世紀(jì)九十年代，極紫外光刻機(jī)的概念就已經(jīng)被提出， ASML 也從 1999 年開(kāi)始 EUV 光刻機(jī)...2018-05-16 08:59:54
• 液滴微流控芯片系統(tǒng)中微液滴特性表征及氨基酸檢司；勻膠機(jī)購(gòu)自中國(guó)科學(xué)院微電子研究所；加熱臺(tái)購(gòu)自誼華電子設(shè)備有限公司；紫外光刻機(jī)購(gòu)自中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所；微流控芯片為自制PDMS芯片，PDMS購(gòu)...2018-01-17 09:29:56
• URE-2000B型光刻機(jī)產(chǎn)品名稱： 中國(guó)光電URE-2000B型光刻機(jī)URE-2000B型紫外光刻機(jī)主要技術(shù)特點(diǎn)：　　 ?該機(jī)采用i線紫外曝光光源，光學(xué)系統(tǒng)采用特殊的消衍...2017-10-30 16:34:18
• SU-8光刻膠光刻工藝光刻膠進(jìn)行前烘處理,在熱板上緩慢冷卻4) 在Karl Suss MA6紫外光刻機(jī)上進(jìn)行接觸式曝光5) 對(duì)曝光后的SU-8光刻膠在熱板上進(jìn)行后烘熱處理，...2017-10-09 17:36:09