• 新型多觸發(fā)極紫外光刻膠材料制使得圖形邊緣處的化學(xué)梯度增加，同時減小酸的擴(kuò)散。圖1 （a）應(yīng)用于極紫外光刻的傳統(tǒng)化學(xué)放大膠的機(jī)理；（b）高劑量區(qū)域的多觸發(fā)機(jī)制；（c）低劑量區(qū)域...2017-08-17 11:54:14
• 中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所研制出實(shí)用深紫外光刻機(jī)學(xué)院光電技術(shù)研究所微電子專用設(shè)備研發(fā)團(tuán)隊(duì)研制成功波長254nm的實(shí)用深紫外光刻機(jī)（Mask aligner），光刻分辨力達(dá)到500nm?！　」饪虣C(jī)因...2017-07-28 16:03:16
• 紫外光刻機(jī)的工作條件 ?????? 紫外線光刻機(jī)是 印制板制造工藝中的重要設(shè)備。傳統(tǒng)光刻機(jī)的玻璃-邁拉曬架在生產(chǎn)過程中需要人工趕氣,邁拉膜需要經(jīng)常更換。由于冷卻系統(tǒng)過...2015-01-30 16:02:14
• 掩膜板的制造和管理Electro Mechanical Systems，微機(jī)電系統(tǒng)）等。紫外光刻機(jī)、步進(jìn)式光刻機(jī)等光刻設(shè)備上都需要使用掩膜版。掩膜板的掩蔽層一般為鉻（...2024-08-01 10:02:30
• 光刻膠的圖形反轉(zhuǎn)圖形反轉(zhuǎn)膠是比較常見的一種紫外光刻膠，它既可以當(dāng)正膠使用又可以作為負(fù)膠使用。相比而言，負(fù)膠工藝更被人們所熟知。本文重點(diǎn)介紹其負(fù)膠工藝。應(yīng)用領(lǐng)域在反轉(zhuǎn)工藝下，通過適當(dāng)?shù)墓に噮?shù)...2024-07-09 09:32:09
• 光刻膠的保存和老化失效膠由于對紫外波段不感光，有可能直接使用白色塑料瓶包裝），冷藏保存，并且紫外光刻膠只能在黃光（λ> 500 nm）下進(jìn)行處理。通常一款光刻膠的失效日期...2024-07-08 10:08:57
• 光刻膠烘烤過程及對顯影的影響正電阻部分分解或引起負(fù)電阻樹脂的熱交聯(lián)。除技術(shù)文件中有特殊要求外，通常紫外光刻膠薄膠的烘烤溫度為100℃并烘烤1分鐘，可針對部分光刻膠進(jìn)一步優(yōu)化參數(shù)...2024-06-21 09:52:46
• 國內(nèi)外光刻膠發(fā)展及應(yīng)用探討的先驅(qū)，隨后經(jīng)過數(shù)百年的發(fā)展，光刻膠的精度也越來越高。有G線和I線傳統(tǒng)紫外光刻膠、深紫外光刻膠（248nm和193nm）和極紫外光刻膠（EUV，13...2024-05-10 09:47:04
• 微流控芯片制備加工方法為常見的微流控芯片制備加工方法有：① 絲網(wǎng)印刷 ?② 噴墨打印 ?③ 紫外光刻（Ultra-Violet，UV）技術(shù) ?④ 電子束直寫（Electr...2024-03-05 10:20:27
• 基于流動聚焦微流控芯片的液晶微滴制備及傳感響應(yīng)分析了微滴尺寸對檢測性能的影響。實(shí)驗(yàn)儀器與試劑URE-2000 / 25 紫外光刻機(jī)；微注射泵；數(shù)顯鼓風(fēng)干燥箱；等離子清洗儀；真空干燥箱；水浴鍋；電子天...2023-12-29 11:00:24