• 傳統(tǒng)光學的曝光技術(shù)有哪些ting)和投影式曝光(projectionprinting)。陰影式曝光技術(shù)中,掩膜直 接與晶片接觸實現(xiàn)曝光的,叫接觸式曝光;掩膜與晶片保持一間隙...2015-01-30 16:31:49
• 光刻膠成分及用途raphy）灰度曝光可以產(chǎn)生曲面的光刻膠剖面，是制作三維浮雕結(jié)構(gòu)的光學曝光技術(shù)之一?；叶绕毓獾年P(guān)鍵在于灰度掩膜板的制作、灰度光刻膠工藝與光刻膠浮雕圖...2017-10-31 17:26:19
• 基于電化學刻蝕與微電鑄工藝， 需要對基板進行研磨拋光。（2）SU-8 膠膜的制備。本文采 用掩膜曝光技術(shù)制作矩形膠膜型腔 作為填充的空間，膠膜采用 SU-8 膠 制作，曝光工...2017-10-10 08:38:48
• 光刻技術(shù)的基本原理100nm線條以下半導體器件制造的主要工具。3.2電子束光刻? 電子束曝光技術(shù)是迄今為止分辨率最高的一種曝光手段。電子束光刻的優(yōu)點是（1）分辨率高；...2016-10-10 10:13:26