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- 微流控技術(shù)的原理、制備以及應(yīng)用是用紫外光光源來代替LIGA技術(shù)中的同步輻射X光深層光刻,然后進行后續(xù)的微電鑄和微復(fù)制工藝。它不需要同步輻射X光光刻和特制的X光掩膜板,有利于實現(xiàn)微機...2018-02-24 09:04:10
- LIGA技術(shù)和準(zhǔn)LIGA技術(shù)優(yōu)缺點對比是用紫外光光源來代替LIGA技術(shù)中的同步輻射X光深層光刻,然后進行后續(xù)的微電鑄和微復(fù)制工藝。它不需要像LIGA技術(shù)所需的同步輻射X光光刻和特制的X光掩...2017-10-25 09:53:33
- 生物芯片與微流控技術(shù)是用紫外光光源來代替LIGA技術(shù)中的同步輻射X光深層光刻,然后進行后續(xù)的微電鑄和微復(fù)制工藝。它不需要同步輻射X光光刻和特制的X光掩膜板,有利于實現(xiàn)微機...2017-08-22 11:04:10