• 光刻膠材料大家聽多了光刻機、蝕刻機以及nm工藝這樣的術語，對光刻膠還是十分陌生的。買回來的硅圓片經過檢查無破損后即可投入生產線上，前期可能還有各種成膜工藝，然后...2018-06-05 08:50:37
• 新型多觸發(fā)極紫外光刻膠材料UV）光刻一直被認為是下一個可行的光刻方案。然而，在光學系統(tǒng)、掩膜版、光刻膠材料等方面的技術難題阻礙了這一技術的應用。例如，EUV光掩膜系統(tǒng)已經由原來...2017-08-17 11:54:14
• 國內外光刻膠發(fā)展及應用探討體管到現(xiàn)在能集成150億個晶體管，實現(xiàn)這種爆炸式的性能突破最關鍵的就是光刻膠材料也在同步發(fā)展，只有光刻膠的性能達標，下游產業(yè)鏈才能有更好的發(fā)展。眾所周...2024-05-10 09:47:04
• 一文了解SU-8光刻膠個芯片制造工藝的35%，并且耗費時間約占整個芯片工藝的40%-50%。光刻膠材料約占IC制造材料總成本的4%，市場巨大。因此光刻膠是半導體集成電路制造...2023-07-25 08:58:21
• 數(shù)字微流控芯片的基本組成進行了基于介質上電潤濕的研究。SU-8光刻膠是近幾年應用非常廣泛的新型光刻膠材料。由于其具有良好的力學性能、絕緣性能、光學性能、化學性能等特點，可以用...2023-07-07 09:33:36
• 光刻膠成分及用途。光刻膠通常是以薄膜形式均勻覆蓋于基材表面。當紫外光或電子束的照射時，光刻膠材料本身的特性會發(fā)生改變，經過顯影液顯影后，曝光的負性光刻膠或未曝光的正性...2017-10-31 17:26:19
• 光刻膠基礎知識顆粒大小、顯影時的溶脹、電子散射等）。通常正膠的分辨率要高于負膠。2.光刻膠材料光刻膠通常有三種成分：感光化合物、基體材料和溶劑。在感光化合物中有時還...2017-08-21 10:09:09
• 光刻膠成分及其應用料聚在一起的粘合劑，給予光刻膠其機械和化學性質。? ? ??光引發(fā)劑：光刻膠材料中的光敏成分，對光能發(fā)生光化學反應。? ? ??添加劑：控制光刻膠材料...2016-11-01 14:31:03
• 如何選購光刻膠？光刻加工工藝中為了圖形轉移，輻照必須作用在光刻膠上，通過改變光刻膠材料的性質，使得在完成光刻工藝后，光刻版圖形被復制在圓片的表面。而加工前，如何選用光刻膠在很大程度上已經決定了光刻的精度。盡管正性膠的分辨力是最...2016-09-30 09:59:46
• 光刻膠的類型和優(yōu)缺點分析.0之間。對于亞微米圖形對比度要大于1。通常正膠對比度要大于負膠。三、光刻膠材料光刻膠材料通常有三種成分：感光化合物、基體材料和溶劑。在感光化合物中優(yōu)...2016-08-23 10:12:23