微流控芯片最初只是作為納米技術(shù)革命的一個(gè)補(bǔ)充，在經(jīng)歷了大肆宣傳及冷落的不同時(shí)期后，最終卻實(shí)現(xiàn)了商業(yè)化生產(chǎn)。隨著材料科學(xué)。微納米加工技術(shù)和微電子所取得的突破性進(jìn)展，微流控芯片也得到了迅速發(fā)展。

蘇州汶顥芯片科技有限公司（簡稱”蘇州汶顥”）具備雄厚的微流控芯片加工能力，保持國內(nèi)芯片加工的領(lǐng)先。配置了先進(jìn)的軟刻蝕有機(jī)芯片加工系統(tǒng)、光刻-掩膜無機(jī)芯片加工系統(tǒng)、數(shù)控CNC微加工系統(tǒng)，可以加工玻璃、石英、硅、PDMS、PC等所有材質(zhì)微流控芯片。

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蘇州汶顥具備哪些微流控芯片加工能力：

1、光刻工藝

    能夠在硅片上進(jìn)行光刻操作，光刻7英寸向下兼容，加工極限2μm，有三層以上光刻加工能力；

2、注塑成型工藝

可利用硅片模具、玻璃模具、金屬模具或塑料模具進(jìn)行PDMS芯片的注塑成型加工。

3、數(shù)控CNC工藝（PMMA、PC、ABS等其他聚合物芯片）

利用數(shù)控CNC加工中心、可以加工線寬在100μm以上，深度在10μm以上的聚合物芯片，芯片整體尺寸在40*40cm以內(nèi)。

4、玻璃加工工藝

激光或者CNC加工玻璃材質(zhì)芯片，管道加工誤差可以在10μm以內(nèi)，切割誤差可以在20μm以內(nèi)。濕法刻蝕寬深比>2:1，通道內(nèi)壁光滑。

5、磁控濺射工藝

可以在硅片或者玻璃上濺射金屬，加工能力6英寸向下兼容，金屬厚度可控；可以進(jìn)行多層的金屬濺射；可以對硅片或者玻璃上濺射金屬進(jìn)行圖案化，極限線寬5μm。

6、其他加工工藝

金屬芯片——主要是鋁和鎳的芯片；相關(guān)進(jìn)樣系統(tǒng)和墊圈的定制；硅刻蝕&深硅刻蝕—化學(xué)方法刻蝕和ICP刻蝕。

     蘇州汶顥，在生物芯片和化學(xué)芯片領(lǐng)域一直保持技術(shù)和研發(fā)的領(lǐng)先地位，申請國家專利89項(xiàng)，其中授權(quán)20余項(xiàng)，已經(jīng)獲批注冊商標(biāo)2件，軟件著作權(quán)7件，江蘇省高新技術(shù)產(chǎn)品3項(xiàng)，建立企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)5項(xiàng)。