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汶顥SU-8、AZ系列光刻膠簡介

SU-8光刻膠 

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SU-8光刻膠克服了普通光刻膠采用UV光刻深寬比不足的問題,在近紫外光(365nm-400nm)范圍內(nèi)光吸收度很低,且整個光刻膠層所獲得的曝光量均勻一致,可得到具有垂直側(cè)壁和高深寬比的厚膜圖形;它還具有良好的力學(xué)性能、抗化學(xué)腐蝕性和熱穩(wěn)定性;在受到紫外輻射后發(fā)生交聯(lián),是一種化學(xué)擴(kuò)大負(fù)性膠,可以形成臺階等結(jié)構(gòu)復(fù)雜的圖形;在電鍍時可以直接作為絕緣體使用。




AZ光刻膠

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AZ光刻膠刻蝕厚度從1μm到150μm以及更厚。高感光度,高產(chǎn)出率;高附著性,特別為濕法刻蝕工藝改進(jìn);廣泛應(yīng)用于全球半導(dǎo)體行業(yè)。



產(chǎn)品型號

光刻膠名稱型號勻膠厚度
Merck AZ /負(fù)可轉(zhuǎn)換型光刻膠AZ 52140.5-6um
AZ 50XT 正膠AZ 50XT 40-80um
AZ 9260 正膠AZ 92606.2-15um
AZ 4620 光刻膠AZ 462010-15um
MicroChem SU-8 負(fù)膠SU-8 201513-38um
MicroChem SU-8 負(fù)膠SU-8 205040-170um
MicroChem SU-8 負(fù)膠SU-8 207560-240um
MicroChem SU-8 負(fù)膠SU-8 2150190-650um
MicroChem SU-8 負(fù)膠SU-8 30108-15um
MicroChem SU-8 負(fù)膠SU-8 305044-100um






標(biāo)簽:   光刻膠