勻膠機影響旋涂產(chǎn)品質(zhì)量因素有哪些?

清潔基材

受污染的基材可能不會完全破壞您的涂層，但是為什么您要花時間和精力進行從一開始就存在缺陷的旋涂工藝呢 ?

顆粒污染

清潔后，旋涂過程中可能會發(fā)生顆粒污染。

汶顥勻膠機

化學污染

殘留在晶圓上的化學污染會影響您的旋涂工藝，看不見的污染點產(chǎn)生的涂層空隙等問題。

清潔您的旋轉(zhuǎn)涂布機

如果希望獲得最佳的旋涂效果，則旋涂機應該一塵不染。您的旋涂過程成進行優(yōu)化以使用最少的化學劑并且旋涂機應在每次操作結(jié)束時進行清潔。

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