勻膠機使用注意事項及維護清洗
勻膠機適用于半導(dǎo)體工藝,制版及表面涂覆等工藝,可在科研、教育等單位作科研、教學(xué)之用。
勻膠機簡介
勻膠機有很多種稱謂,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機、旋轉(zhuǎn)涂膜機、旋轉(zhuǎn)涂層機、旋轉(zhuǎn)涂布機、旋轉(zhuǎn)薄膜機、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機,總的來說,他們原理都是一樣的,即在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。
勻膠機使用注意事項 :
(1)所甩樣片的尺寸要大于吸附盤有效尺寸 2-3mm 左右,如果用大吸附盤甩小 的樣片就會產(chǎn)生漏氣,同時造成膠被吸入抽氣室,導(dǎo)致氣路堵塞。
(2)如果不慎膠被吸入了抽氣室,要立刻進行清洗,否則吸附盤、光電盤、電 機軸會黏在一起,造成電機轉(zhuǎn)不動,拆卸亦很困難。
(3)氣路堵塞或氣泵損壞時電機也可運轉(zhuǎn)產(chǎn)生飛片,故在啟動電機前須確認氣 泵的狀況良好及吸片確已吸住。
(4)本機一旦出現(xiàn)故障或異常情況請立即切斷電源,參考上述常見故障排除, 若自己不能解決,請及時撥打汶顥股份公司電話。
勻膠機的維護清洗:
屬下列情況之一時,需要對抽氣室進行清洗
1.正常使用半個月的;
2.膠被吸入抽氣室的;
3.電機轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定或被卡住轉(zhuǎn)不動的。
汶顥股份是勻膠機生產(chǎn)廠家,歡迎來電咨詢勻膠機價格。
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