一、配膠

打開(kāi)天平稱膠。A膠：B膠=10:1。A膠與B膠的比越大配出來(lái)的膠越軟。

二、勻膠

打開(kāi)真空脫泡攪拌機(jī)，放入稱好的膠，抽真空將膠攪拌混合。

三、修飾

將處理好的硅片放入揮發(fā)缸中，滴1~2滴修飾劑（甲基氯硅烷）修飾約3min。

四、倒膠

錫紙鋪平于皿內(nèi)，放入硅片模具，將硅片輕輕壓實(shí)后倒膠，務(wù)必使硅片上的膠無(wú)氣泡。

五、干燥

85℃恒溫干燥箱內(nèi)干燥約30min。

六、剝膠

稍冷卻后撕下錫紙，將固化后的PDMS與硅片分離，小心揭下PDMS，注意不要損壞硅片。

七、切割

用切割刀沿著芯片外框小心切割，注意切割整齊。

八、打孔

用打孔器打孔，注意打孔的位置、孔徑大小。

九、清理

清洗芯片。

十、鏡檢

用顯微鏡觀察芯片通道是否合格。

十一、鍵合

等離子處理機(jī)處理需要鍵合的芯片表面，并將被處理的兩面貼合。

十二、質(zhì)檢

顯微鏡下檢察芯片的鍵合情況。

十三、烘烤

放入65℃恒溫干燥箱內(nèi)過(guò)夜烘烤。

十四、結(jié)束

對(duì)芯片進(jìn)行最后檢察，結(jié)束制作。整理加工臺(tái)面。

注：所需儀器：電熱板、勻膠機(jī)、烘膠臺(tái)；耗材：光刻膠、顯影液、硅片等。注：上文中提及的相關(guān)儀器：真空脫泡攪拌機(jī)、恒溫干燥箱、顯微鏡、等離子處理機(jī)；所需耗材：PDMS預(yù)聚物（RTV615或184）、硅片；加工工具：切割刀、打孔器等(汶顥芯片www.vonpft.cn)